Direct optical lithography of functional inorganic materials
L'invention
- Nom de l'invention
- Direct optical lithography of functional inorganic materials
- Lithographie optique directe de matériaux inorganiques fonctionnels
description de l'invention
- Description
- Grâce à l'ingénierie des ligands, nous avons créé des encres photosensibles à partir de nanomatériaux, permettant la lithographie directe sans photorésines. Cela atteint >3200 ppi et <100 nm, améliorant la fabrication de micro-écrans.
Inventeur·rices
Nanjing University inventor 3701713461_3882
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