L'invention
Autonomous nanofabrication wet-processing “DARK LAB of the FUTURE” system
L'invention
- Nom de l'invention
- Autonomous nanofabrication wet-processing “DARK LAB of the FUTURE” system
- Système autonome de nanofabrication par voie humide « DARK LAB of the FUTURE »
description de l'invention
- Description
- Système qui propose une plateforme de gravure humide automatisée pour dispositifs micro-nano, réduisant l'utilisation de produits chimiques. Grâce à un robot de transfert, il permet un fonctionnement autonome 24/7, améliorant l'efficacité et la sécurité.
Inventeur·rices
THE HONG KONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY inventor 3700652870_2972
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